二氧化硅薄膜膜厚标准物质
国标号：GBW13960
英文名称：Thin Film Thickness CRM of SiO2/Si
应用领域：物理学与物理化学/光学特性
保存条件：真空包装，阴凉、干燥处存放
使用注意事项：样品开封使用应保证取样工具等洁净，避免样品沾污。
特征形态：固态
基体：
主要分析方法：
定值单位：中国计量科学研究院#
规格：外包装为铝箔真空袋，每包装为一片，20 mm乘以20 mm
量值信息
标准值 不确定度 单位 CAS 备注
二氧化硅薄膜 106.1 1.7 膜厚（nm）
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